ftir全稱

FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀(Fourier Transform infrared spectroscopy)用於半導體制造業。

FTIR仍利用紅外線光譜經傅裏葉變換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。傅裏葉轉換紅外光譜 (FTIR)是壹種用來獲得吸收,射出光電導性或固體, 液體或氣體的拉曼散射的紅外光光譜技術。

光譜分析儀：

目的:對已應用成熟的用戶來說，可日常化進行計量方面有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。芯片之含氧、含碳量預測、磊晶之厚度量測。

更高級的應用方面有:?

1、氮化矽中氫含量預測。

2、復晶矽中含氧量預測。

3、光阻特性分析。

FTIR為壹極便利之分析儀器，標準的建立為整個量測之重點，由於其中多利用光學原理、芯片狀況(i.e.晶背處理狀況)對量測結果影響。

目前所有的紅外光譜儀都是傅裏葉變換型的，光譜儀主要由光源(矽碳棒、高壓汞燈)、邁克爾遜幹涉儀、檢測器和幹涉儀組成。

用傅裏葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟:

1、分別收集背景(無樣品時)的幹涉圖及樣品的幹涉圖;

2、分別通過傅裏葉變換將上述幹涉圖轉化為單光束紅外光;

3、將樣品的單光束光譜除以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。